プロダクトガイド - 真空ポンプ - シリーズ一覧

NeoDry Series メンテナンスフリー空冷式ドライ真空ポンプ


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型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力（Pa）
NeoDry 15C 250 ≦1.0
NeoDry 30C 500 ≦1.0
NeoDry 36C 500/600 ≦1.0

MU Series 超小型、クリーン排気、軽負荷プロセス用途に


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型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力（Pa）
MU100 1,660 0.9～1.5
MU300 5,000 0.5

SDE Series 高性能スクリューポンプ、全てのプロセスに対応


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型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力（Pa）
SDE90 1,300 1.3
SDE120 2,000 1.3
SDE303 5,000 0.5
SDE603 10,000 0.5
SDE1203 20,000 0.5
SDE2003 30,000 0.5

SDL Series L/L用 大排気量ポンプ


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型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力（Pa）
SD220L 3,100(50Hz)
3,700(60Hz)		 4(50Hz)
3(60Hz)
SD1203L 20,000(50Hz)
24,000(60Hz)		 0.5
SD2003L 30,000(50Hz)
35,000(60Hz)		 0.5

KMB Series ドライポンプと組み合わせて排気量拡大


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型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力（Pa）
KMB603 10,000 0.5
KMB1203 20,000 0.5
KMB2003 30,000 0.5

LEH/LEM Series 水蒸気や水滴を含んだ気体の排出に


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型式 排気速度(m3/hr) 到達圧力（Pa）
50Hz 60Hz
LEM3 3.4 4.2 5.3×103
LEM6 6.6 7.8 5.3×103
LEM20MA 17 20 5.3×103
LEM40MA 34 40 5.3×103
LEH30MA,MS 22 27 2.3×103
LEH50MA,MS 42 50 2.3×103
LEH100MA,MS 75 90 2.3×103
LEH150MA,MS 113 135 2.3×103
LEH200MA,MS 150 180 2.3×103
LEH300MA,MS 250 － 2.3×103
LEH300MA,MS － 300 2.3×103

 

  1. 性能向上に伴い、内容を変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
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