プロダクトガイド - KMBシリーズ - 製品の概要

ドライポンプと組み合わせて排気能力を向上させます。
回転数制御により大気圧からの運転を可能にしました。

• 高効率設計により従来機種に比べ大幅な小型化を実現しました。
• 気密モータを採用し信頼性を向上させました。
• 駆動系の改良と機械損失の低下により動力を最小限に抑えました。
• 回転制御により大気圧状態での連続運転を可能にしたため、従来のような真空スイッチによるインターロック、大気時の時間制限等が不用となるため、使い方が簡単です。
• 同期モータの採用により電源周波数に関係なく、同一の排気性能が得られます。（０３シリーズ）

仕様一覧

仕様 ／ 型式	KMB603	KMB1203	KMB2003
最大排気速度(L/min)*	10,000	20,000	30,000
到達圧力(Pa)*	0.5
最大許容吸気口圧力(Pa)	大気圧
吸気口径	VG80	VG100	VG150
排気口径	VF65	VF100	VF150
概略質量(Kg)	85	110	230
電源電圧	3相 AC200～220V 50/60Hz
運転時動力(kW)**	0.3	0.4	0.8
電源容量(kVA)	4.0	6.5	11.1
冷却水量	3L/min以上
N2流量	0 or 20SCCM

*性能は弊社推奨ドライポンプとの組み合わせ時の値です。
**到達圧力時の運転動力。

排気性能曲線

外観寸法図 (KMB603，KMB1203)

外観寸法図 (KMB2003)

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