プロダクトガイド - MUシリーズ - 製品の概要
世界最小のサイズと世界最小の電力を同時に実現しました。
あらゆる製造装置に組み込みが可能です。
- 超小型
- 極限のスペース設計により、２３０×４５０のフットプリントで、１６６０L/minの排気能力を確保、ダウンサイジングを実現しました。
- 半導体製造装置のロードロック、搬送室等のクリーン排気及び、軽負荷プロセス用途に最適なポンプです。
仕様一覧
| 仕様 ／ 型式 | MU100 | MU300 |
|---|---|---|
最大排気速度 (L/min) |
1660 | 5000 |
| 到達圧力(Pa) | 0.9～1.5 | 0.5 |
| 最大吸気口圧力 | 大気圧 | |
| モーター定格出力(kW) | 2.2 | 2.2+2.2 |
| 到達時消費電力(kW) | 0.7 | 0.9 |
| 吸気口径 | NW50 | |
| 排気口径 | NW25 | |
| 概略質量(Kg) | 60 | 100 |
外観寸法図 (MU100)
外観寸法図 (MU300)
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