プロダクトガイド - SDLシリーズ - 製品の概要

ウエハーの大口径化、ＦＰＤ基板の大型化に対応する大排気量ポンプです。
大型化するロードロックチャンバを高速で排気し、タクトタイムを短縮します。

• 高速排気のため、大気側の排気速度を確保しました。
• 大型ブースターポンプとの組み合わせで更に大排気量化が可能です。(～35,000L/min)
• 生成物が多量に発生する用途には使用できません。

仕様一覧

仕様 ／ 型式	SD220L	SDL25K	SDL40K	SDL60K
最大排気速度(L/min) (上段：50Hz/下段：60Hz)	3,100 3,700	25,000	40,000	55,000
到達圧力(Pa) 50/60Hz	4/3	0.5
最大許容吸気口圧力(Pa)	大気圧
吸気口径	NW50	NW100		NW160
排気口径	NW40	NW50
概略質量(Kg)	450	620	750	910
電源電圧	3相 AC200V 50/60Hz、AC220V 60Hz	3相 AC200～220V 50/60Hz
運転時動力(kW)	5.0	6.9	7.0	7.4
電源容量(kVA)	8.3	17.0	23.6	28.1
冷却水量	5L/min以上	6L/min以上
N2流量	0～50SLM

排気性能曲線

外観寸法図 (SD220L)

外観寸法図 (SDL25K)

外観寸法図 (SDL40K)

外観寸法図 (SDL60K)

• 製品の概要
• PDFカタログ
• 全カタログの一括ダウンロード