【プロセス対応】 SDE-TX シリーズ

SDEのプロセス性能特化モデル

01
FEATURE

耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用

02
FEATURE

構造材料や温度設定による高い耐食性 *1

SDE-TX シリーズ

ハーシュプロセス対応例

ハーシュプロセス対応例

主要型式

仕様 / 型式SDE120TXSDE303TXSDE603TXSDE1203TXSDE20M12TXSDE30M12TX
最大排気速度
[L/min] *2
1,5005,00010,00020,00030,00045,000
到達圧力
[Pa] *2
1.30.5
電源電圧
(50/60Hz)
3相 AC200~220V, 380~480V
外観寸法 [mm]
W*H*L *3
W:370
H:501
L:690
W:400
H:905
L:760
W:400
H:905
L:760
W:400
H:905
L:900
W:460
H:960
L:900
W:500
H:960
L:1020

*1. 対応ガス種に関してはお問い合わせください。 *2. N2パージ未使用時の値です。
*3. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*海外規格対応についてはお問い合わせ下さい。また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。

排気性能曲線

排気性能曲線

*排気性能曲線は組合せにより変更となります。

  1. 性能向上に伴い、内容を変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
  2. 本カタログに記載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問合せ下さい。

製品に関するお問い合わせは sales@kashiyama.co.jp まで