樫山工業プロダクトガイド

ドライ真空ポンプを性能で選ぶ

ドライ真空ポンプを用途で選ぶ

樫山工業の製品一覧

NeoDry 36

メンテナンスフリー空冷式ドライ真空ポンプ。冷却水不要一般作業向けに。
500～600L/min

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MU Series

超小型、クリーン排気、軽負荷プロセスに。あらゆる製造装置に組み込み可能。
1,660～5,000L/min

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SDE Series

全てのプロセスに対応。耐久性と省エネを実現し、ランニングコスト低減。
1,300～30,000L/min

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SDL Series

L/L用大排気量ポンプ。大型化するロードロックチャンバを高速で排気し、タクトタイムを短縮。
3,100～55,000L/min

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KMB Series

ドライポンプと組み合わせて排気量拡大。回転数制御により大気圧からの運転を可能に。
10,000～30,000L/min

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水封式真空ポンプ LEH/LEMシリーズ

  1. 性能向上に伴い、内容を変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
  2. 本カタログに記載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問合せ下さい。

製品に関するお問い合わせはsales@kashiyama.co.jpまで