プロダクトガイド & 製品一覧

ドライ真空ポンプを用途で選ぶ

ハードプロセス

SDE-TX, SDE-X & SDEシリーズ

あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ。プロセス性能に特化したSDE-TXシリーズ、省エネ対応のSDE-Xシリーズ、大排気量対応のSDEシリーズ。

ライトプロセス

MU-X & MU-P/Hシリーズ

世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現。あらゆる製造装置に組み込みが可能です。2つの世界最「省」を実現したMU-Xシリーズと、省エネ「だけじゃない」MU-P/Hシリーズ。

大排気量

SDE & SDLシリーズ

ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ。ハードプロセス向けSDEシリーズ&L/L向けSDLシリーズ。

一般産業

NeoDryシリーズ

トータルコストの低減を追求した空冷式ドライ真空ポンプ。冷却水不要のため一般産業、分析、研究開発向けに。

ドライ真空ポンプを性能で選ぶ

SDE-TX & SDE-Xシリーズ

SDE-TX & SDE-X シリーズ 最大排気速度

SDE & SDLシリーズ

SDE & SDL シリーズ 最大排気速度

MU-X & MU-P/Hシリーズ

MU-X & MU-P/H シリーズ 最大排気速度

NeoDryシリーズ

NeoDry シリーズ 最大排気速度

製品一覧

SDE-TXシリーズ SDEのプロセス性能特化モデル

SDE-TX
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
SDE120TX 1,500 1.3
SDE303TX 5,000 0.5
SDE603TX 10,000 0.5
SDE1203TX 20,000 0.5
SDE20M12TX 30,000 0.5
SDE30M12TX 45,000 0.5

SDE-Xシリーズ SDEの耐プロセス性を継承した省エネモデル

SDE-X
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
SDE90X 1,300 1.3
SDE303X 5,000 0.5
SDE603X 10,000 0.5
SDE1203X 20,000 0.5
SDE20M09X 30,000 0.5
SDE30M09X 45,000 0.5

SDEシリーズ 耐プロセスモデルのスタンダード

SDE
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
SDE1220 20,000 0.5
SDE20M20 30,000 0.5
SDE30M20 50,000 0.5
SDE4060 60,000 0.8
SDE4030M20 80,000 0.5
SDE8060 120,000 0.8
SDE804060 190,000 0.5

SDLシリーズ

SDL
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
SDL12E50 25,000 0.8
SDL20E50 50,000 0.8
SDL36M60 60,000 0.5
SDL40E60 70,000 0.8
SDL40E201 80,000 5.0
SDL40EW201 150,000 5.0
SDL80201 170,000 5.0

MU-Xシリーズ 消費電力0.35kW、A3以下の230×450mm

MU-X
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
MU100X 1,660 1.5
MU180X 3,000 1.5
MU300X 5,000 0.5
MU600X 10,000 0.5
MU1200X 20,000 0.5
MU20M18X 30,000 0.5

MU-P/Hシリーズ プロセス耐性、消費電力0.7kW

MU-P
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
MU100P/H 1,660 3.0
MU180P/H 3,000 5.0
MU300P/H 5,000 0.5
MU600P/H 10,000 0.5
MU1200P/H 20,000 0.5
MU20M18P/H 30,000 0.5

NeoDryシリーズ 小型空冷ドライ真空ポンプ

NeoDry
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
NeoDry7E 110 5.0
NeoDry15E 250 1.0
NeoDry30E 500 1.0
NeoDry36E 600 1.0
NeoDry60E 1,000 1.0
NeoDry300E 5,000 0.3

LEH/LEMシリーズ 水蒸気や水滴を含んだ気体の排出に

photo_leh
型式 排気速度(m3/hr) 到達圧力(Pa)
50Hz 60Hz
LEM3 3.4 4.2 7.3×103
LEM6 6.6 7.8 7.3×103
LEM20MA 17 20 7.3×103
LEM40MA 34 40 7.3×103
LEH30MA,MS 22 27 2.3×103
LEH50MA,MS 42 50 2.3×103
LEH100MA,MS 75 90 2.3×103
LEH150MA,MS 113 135 2.3×103
LEH200MA,MS 150 180 2.3×103
LEH300MA,MS 250 300 2.3×103

仕様及び型式名に関しては、予告なく変更される可能性があります。