プロダクトガイド & 製品一覧

ドライ真空ポンプを用途で選ぶ

ハードプロセス

SDEシリーズ

あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ。

ライトプロセス

MU-X & MU-P/Hシリーズ

世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現。あらゆる製造装置に組み込みが可能です。2つの世界最「省」を実現したMU-Xシリーズと、省エネ「だけじゃない」MU-P/Hシリーズ。

大排気量

SDE & SDLシリーズ

ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ。ハードプロセス向けSDEシリーズ&L/L向けSDLシリーズ。

一般産業

NeoDryシリーズ

トータルコストの低減を追求した空冷式ドライ真空ポンプ。冷却水不要のため一般産業、分析、研究開発向けに。

ドライ真空ポンプを性能で選ぶ

SDEシリーズ

SDE シリーズ 最大排気速度

SDLシリーズ

SDL シリーズ 最大排気速度

MU-X & MU-P/Hシリーズ

MU-X & MU-P/H シリーズ 最大排気速度

NeoDryシリーズ

NeoDry シリーズ 最大排気速度

製品一覧

SDEシリーズ 耐プロセス・省エネ・大排気量対応

SDE
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
SDE90X 1,300 1.3
SDE120TX 1,500 1.3
SDE200 3,300 1.3
SDE303X 5,000 0.5
SDE603X 10,000 0.5
SDE1203TX 20,000 0.5
SDE20N12TX 30,000 0.5
SDE30N20 50,000 0.5
SDE60N20 100,000 0.5

SDLシリーズ

SDL
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
SDL12E50/60 25,000 0.8
SDL20E60 40,000 0.8
SDL36E60 60,000 0.8

MU-Xシリーズ 消費電力0.35kW、A3以下の230×450mm

MU-X
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
MU100X 1,660 1.5
MU180X 3,000 1.5
MU300X 5,000 0.5
MU600X 10,000 0.5
MU1218X 20,000 0.5
MU20N18X 30,000 0.5

MU-P/Hシリーズ プロセス耐性、消費電力0.7kW

MU-P
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
MU100P/H 1,660 3.0
MU180P/H 3,000 5.0
MU300P/H 5,000 0.5
MU600P/H 10,000 0.5
MU1218P/H 20,000 0.5
MU20N18P/H 30,000 0.5
MU30N18P/H 50,000 0.5

NeoDryシリーズ 小型空冷ドライ真空ポンプ

NeoDry
型式 最大排気速度(L/min) 到達圧力(Pa)
NeoDry7E 110 5.0
NeoDry15E 250 1.0
NeoDry30E 500 1.0
NeoDry36E 600 1.0
NeoDry60E 1,000 1.0
NeoDry300E 5,000 0.3

LEH/LEMシリーズ 水蒸気や水滴を含んだ気体の排出に

photo_leh
型式 排気速度(m3/hr) 到達圧力(Pa)
50Hz 60Hz
LEM3 3.4 4.2 7.3×103
LEM6 6.6 7.8 7.3×103
LEM20MA 17 20 7.3×103
LEM40MA 34 40 7.3×103
LEH30MA,MS 22 27 2.3×103
LEH50MA,MS 42 50 2.3×103
LEH100MA,MS 75 90 2.3×103
LEH150MA,MS 113 135 2.3×103
LEH200MA,MS 150 180 2.3×103
LEH300MA,MS 250 300 2.3×103

仕様及び型式名に関しては、予告なく変更される可能性があります。