SDシリーズの特徴
プロセス耐性を継承し、進化を追求
主要型式
| モデル*1 | SDX600 | SDT600 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000*5 | SDH6000*5 | |
| 最大排気速度 [L/min]*2 | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
| 到達圧力 [Pa] *2 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
| N2流量[SLM] | 0～80 | 0～120 | |||||||
| 冷却水流量 [L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
| 消費電力[kW]*3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
| 外観寸法 [mm]*4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
| W | 285 | 285 | 380 | 420 | 515 | ||||
| H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 | ||||
*1) SDX 省エネ・ハーシュプロセス対応機、SDT ・SDH 耐プロセス性・スーパーハーシュ対応機
*2) N2パージ未使用時の値です。 *3) 到達運転時の消費電力概略値です。 *4) パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*5)更なるプロセス耐性に優れたラインナップを揃えていますので営業担当までお問合せ下さい。
仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。 ※対応ガス種に関してはお問い合わせ下さい。
排気性能曲線
*排気性能曲線は組合せにより変更となります。
PDFカタログ
- 性能向上に伴い、内容を変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
- 本カタログに記載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問合せ下さい。
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