SDL シリーズ

ウエハー、FPDの大口径化にしっかり対応 組み合わせにより大排気量化が可能。15万L/min以上のご要望にもお応えします。高速排気によるタクトタイムの短縮 大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの高速排気でタクトタイムを短縮。

溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい

主要型式

仕様 / 型式 SDL12E50/60SDL20E60SDL36E60
最大排気速度 [L/min] *125,00040,00060,000
到達圧力 [Pa] *10.8
電源電圧 (50/60Hz)3相 AC200~220V, 380~480V
外観寸法 [mm] L×W×H1020×520×10501370×850×1295
質量 [kg]645800920

*1. N2パージ未使用時の値です。
*海外規格対応についてはお問い合わせ下さい。また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。

排気性能曲線

排気性能曲線

*排気性能曲線は組合せにより変更となります。

  1. 性能向上に伴い、内容を変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
  2. 本カタログに記載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問合せ下さい。

製品に関するお問い合わせは sales@kashiyama.co.jp まで