SDL シリーズ

01
FEATURE

ウエハー、FPDの
大型化に対応

組合せにより大排気量化
可能。15万L/min以上の
ご要望にもお応えします。

02
FEATURE

タクトタイムの
短縮

大気側排気速度の確保
による、大型ロードロック
チャンバーの高速排気

SDL シリーズ

溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい

主要型式

仕様 / 型式 SDL12E50SDL20E50SDL36M60SDL40E60SDL40E201SDL40EW201SDL80201
最大排気速度
[L/min] *1
25,00050,00060,00070,00080,000150,000170,000
到達圧力
[Pa] *1
0.80.50.85.0
電源電圧
(50/60Hz)
3相 AC200~220V, 380~480V3相 AC380~440V

*1. N2パージ未使用時の値です。
*海外規格対応についてはお問い合わせ下さい。また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。

排気性能曲線

排気性能曲線

*排気性能曲線は組合せにより変更となります。

  1. 性能向上に伴い、内容を変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
  2. 本カタログに記載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問合せ下さい。

製品に関するお問い合わせは sales@kashiyama.co.jp まで