プロセス対応例
最大排気速度別ラインアップ
最大排気速度[L/min]
主要型式
| 仕様 / 型式 | SDE90X | SDE120TX | SDE200 | SDE303X | SDE603X | SDE1203TX | SDE20N12TX | SDE30N20 | SDE60N20 | |
| 最大排気速度 [L/min] *1 | 1,300 | 1,500 | 3,300 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |
| 到達圧力 [Pa] *1 | 1.3 | 0.5 | ||||||||
| 電源電圧 (50/60Hz) | 3相 AC200～220V | |||||||||
| 消費電力 [kW]*2 | 1.3 | 2.8 | 2.7 | 1.5 | 1.6 | 3.2 | 3.3 | 3.7 | ||
| 外観寸法 [mm]*3 | L | 690 | 930 | 900 | 1000 | 1000 | 1080 | |||
| W | 370 | 400 | 400 | 450 | 450 | 515 | ||||
| H | 501 | 500 | 905 | 1000 | 950 | 950 | ||||
*1) N2パージ未使用時の値です。 *2) 到達運転時の消費電力概略値です。 *3) パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
※海外規格対応についてはお問合わせ下さい。また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。
※対応ガス種に関してはお問い合わせ下さい。
排気性能曲線
*排気性能曲線は組合せにより変更となります。
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PDFカタログ
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