【大排気量対応】 SDE シリーズ

耐プロセスモデルのスタンダード

01
FEATURE

最大排気速度
20万L/min
クラスまで対応

02
FEATURE

大型の
ウエハー/FPD
基板に最適

03
FEATURE

あらゆる
プロセスに対応

SDE シリーズ

主要型式

仕様 / 型式 *1SDE1220SDE20M20SDE30M20SDE4060SDE4030M20SDE8060SDE804060
最大排気速度
[L/min] *2
20,00030,00050,00060,00080,000120,000190,000
到達圧力
[Pa] *2
0.50.80.50.80.5
電源電圧
(50/60Hz)
3相 AC200~220V, 380~480V
外観寸法 [mm]
W*H*L *3
W:400
H:780
L:930
W:450
H:950
L:1000
W:450
H:950
L:1000
W:750
H:1200
L:1600
W:800
H:1580
L:1320
W:850
H:1220
L:1600
W:1000
H:1980
L:1850

*1. 20,000L/min 未満のクラスも取り揃えております。 *2. N2パージ未使用時の値です。
*3. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*海外規格対応についてはお問い合わせ下さい。また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。

排気性能曲線

排気性能曲線

*排気性能曲線は組合せにより変更となります。

  1. 性能向上に伴い、内容を変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
  2. 本カタログに記載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問合せ下さい。

製品に関するお問い合わせは sales@kashiyama.co.jp まで