- 2つの世界最「省」を実現 - MU-X シリーズ

消費電力0.35kWA3以下の230×450mm

01
FEATURE

同クラスで、世界最省エネと最省フットプリントを
両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。

02
FEATURE

あらゆる製造装置に組込みが可能です。

03
FEATURE

ロードロック及び搬送室等の
クリーン排気プロセス用途に最適です。

MU-X シリーズ

主要型式

仕様 / 型式 MU100XMU180XMU300XMU600XMU1200XMU20M18X
最大排気速度
[L/min] *1
1,6603,0005,00010,00020,00030,000
到達圧力
[Pa] *1
1.50.5
電源電圧
(50/60Hz)
3相 AC200~220V *2
消費電力
[kW] *3
0.350.50.550.60.71.5
外観寸法 [mm]
W*H*L *4
W:230
H:275
L:450
W:280
H:299
L:550
W:230
H:520
L:450
W:230
H:520
L:530
W:275
H:580
L:625
W:500
H:950
L:1100
質量 [kg]6095100120165340

*1. N2パージ未使用時の値です。 *2. 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談下さい。 *3. 到達運転時の消費電力概略値です。
*4. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。 *大排気量ポンプもありますので、お問い合わせ下さい。
*海外規格対応についてはお問い合わせ下さい。また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。

排気性能曲線

排気性能曲線

  1. 性能向上に伴い、内容を変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
  2. 本カタログに記載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問合せ下さい。

製品に関するお問い合わせは sales@kashiyama.co.jp まで